¿Qué materiales los semiconductores se hacen? Blancos de la farfulla del molibdeno para los semiconductores
Hoy, las blancos de la farfulla se utilizan en una amplia variedad de usos que se extienden de la industria del semiconductor a la deposición de la película fina de diversos materiales en el proceso del circuito integrado. La farfulla es una técnica establecida para depositar las películas finas de una variedad de materiales sobre los substratos de diversos formas y tamaños. Para obtener las propiedades deseadas adentro farfulle las películas depositadas, los materiales de la fabricación y los procesos usados para fabricar para farfullar la blanco son críticos. Abajo hechamos una ojeada las blancos de la farfulla del molibdeno para los semiconductores.
Además de blancos puras del metal tales como tungsteno, molibdeno, niobio, titanio, y silicio, hay también blancos de la aleación tales como tungsteno, molibdeno, titanio, silicio, y tantalio, así como los compuestos tales como óxidos o nitruros. El proceso de determinar el material es tan importante como los parámetros de funcionamiento de la deposición que los ingenieros y los científicos perfectos durante el proceso de capa.
Comparado con otros métodos de la deposición, la película farfullada tiene mejor adherencia en el substrato, y los materiales con los puntos extremadamente de fusión elevada tales como molibdeno y tungsteno también se farfullan fácilmente. También, la farfulla se puede hacer de arriba a abajo, mientras que la evaporación se puede hacer solamente de parte inferior para rematar.
Las blancos de la farfulla son típicamente redondas o rectangulares, pero otras formas están también disponibles, incluyendo diseños cuadrados y triangulares. El substrato es el objeto que se cubrirá, que puede incluir las obleas de semiconductor, las células solares, los elementos ópticos o muchas otras posibilidades. El grueso de la capa está típicamente en el rango de los angstromes a los micrones. La membrana puede ser un solo material o materiales múltiples en una estructura de múltiples capas.
Como metal refractario con una amplia gama de aplicaciones, el molibdeno tiene propiedades mecánicas excelentes, la extensión baja, la alta conductividad termal y conductividad eléctrica extremadamente alta en las temperaturas altas. Como blanco de la farfulla, hay diversas combinaciones, tales como blanco pura del molibdeno, blanco del titanio del molibdeno, blanco del tantalio del molibdeno, blanco de la aleación del molibdeno (tal como placa de TZM).
La blanco de la farfulla del molibdeno tiene las características de la pureza elevada, de la alta densidad, de la multa y de granos uniformes, para obtener eficacia extremadamente alta de la farfulla, espesor del film uniforme y la superficie que graba al agua fuerte lisa durante el proceso de la farfulla.